pv-6060微觀意義上的非接觸光電晶片厚度、TTV和電阻率測量模塊 高穩(wěn)定性在線太陽能硅片測量模塊，用于過程控制和質(zhì)量保證 pv-6060微觀意義上是一種高精度計量模塊提供太陽能硅片厚度測量無與倫比的吞吐量和穩(wěn)定性，晶片的總厚度變化（TTV）和硅片電阻率。所有測量都是完全非接觸的實時模擬輸出，無晶圓破損的高通量。設(shè)計簡單集成到自動化晶圓運輸?shù)膒v-6060用OEM太陽能硅片制造在線檢測和分選系統(tǒng)。 非接觸式太陽能硅片測量 太陽能硅片的厚度和TTV–1或3測量軌道 太陽能硅片的電阻率 太陽能晶片P或N導(dǎo)電類型（可選） 效益 先進(jìn)的高穩(wěn)定性，低噪聲電容傳感器設(shè)計亞微米分辨率和非常重復(fù)厚度測量 非接觸式電容傳感器提供真正的晶圓表面測量-晶圓表面光潔度對厚度測量精度沒有影響。 5毫米直徑傳感器用于厚度測量，提供高空間分辨率和接近晶片邊緣的測量。 模塊化設(shè)計——OEM的靈活配置，為易于集成到現(xiàn)有晶圓傳輸系統(tǒng)和傳送帶系統(tǒng)而設(shè)計。
