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用于振動(dòng)測(cè)量的電容式傳感器

非接觸精密電容式傳感器特征小，低質(zhì)量的傳感器頭和快速的響應(yīng)時(shí)間，所以他們非常適合測(cè)量各種高性能的機(jī)器，包括精密X-Y階段，機(jī)床振動(dòng)，高速印刷設(shè)備和半導(dǎo)體制造設(shè)備。



理想的振動(dòng)測(cè)量應(yīng)用中，它是不可能的或?qū)嵱玫氖褂眉铀俣扔?jì)。

用于半導(dǎo)體制造的精密級(jí)，可以在晶片平面上測(cè)量級(jí)堆疊的振動(dòng)，而不增加晶片卡盤的質(zhì)量。

非接觸測(cè)量精密掃描級(jí)結(jié)構(gòu)振動(dòng)，以確定相對(duì)于系統(tǒng)光學(xué)的垂直振動(dòng)效應(yīng)。在評(píng)估掃描系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)剛度時(shí)，這為設(shè)計(jì)工程師提供了強(qiáng)有力的診斷工具。

電容式傳感器為高性能、主動(dòng)隔振系統(tǒng)提供伺服系統(tǒng)反饋。

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解調(diào)器傳感器系列應(yīng)用

型號(hào)8810 2800系列振動(dòng)測(cè)量，高達(dá)20千赫測(cè)量帶寬

型號(hào)6810 6000系列振動(dòng)測(cè)量，高達(dá)100千赫測(cè)量帶寬