用于平面控制的電容式傳感器 電容傳感器從微觀意義上廣泛使用的各種焦平面控制，或調零，在大氣和真空環(huán)境中的應用。 這些應用程序通常要求系統(tǒng)光學相對一部分在檢查在微米或亞微米級的重復定位，而在檢驗時的光學系統(tǒng)下快速移動。 圖1 -檢測硅晶片的表面-測量相對于光學的z中硅片的位置 在焦平面控制應用中，位置傳感器既用作伺服回路的反饋傳感器，也用作獨立的位移測量裝置。它用于維護系統(tǒng)光學和被檢測部件之間所需的偏移量。 推薦產品 解調器傳感器系列應用 用于焦點平面控制的4810型2800系列位置傳感器 型號8810 2800系列高分辨率位置傳感器用于焦平面控制
