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或者當(dāng)我第一次遇到傳感器行業(yè)的人時(shí)，我往往會(huì)講一些故事。這些故事的范圍和細(xì)節(jié)因游客的興趣或場(chǎng)合而異。我想講述硅谷基于硅的傳感器的一些歷史，并給出一些我們過去研究的應(yīng)用實(shí)例。這通常會(huì)引發(fā)一些共同點(diǎn)，我們可能有共同的興趣、人或其他經(jīng)驗(yàn)可以分享。我將通過這封新聞信來分享其中的一些信息。
飛兆半導(dǎo)體時(shí)代
出于所有實(shí)際目的，我直接參與了硅谷的第一個(gè)硅傳感器工作。負(fù)責(zé)將傳感器技術(shù)引入該地區(qū)的人是Art Zias。阿特是貝爾實(shí)驗(yàn)室的技術(shù)作家，50年代末還是一名工科學(xué)生。硅和鍺中的壓阻物理源自貝爾的Phan、Thurston和Smith的工作，并由Art編年史。Art在50年代還曾在紐約主要工作室擔(dān)任專業(yè)薩克斯風(fēng)演奏員。用他自己的話來說，“我有足夠的技能與頂級(jí)爵士樂藝術(shù)家一起演奏，但沒有足夠的天賦與他們并駕齊驅(qū)。”Pfann的作品啟發(fā)了藝術(shù)，讓硅傳感器成為終身職業(yè)。Bill Pfann當(dāng)時(shí)發(fā)表的評(píng)論不僅啟發(fā)了藝術(shù)，而且可能定義了這個(gè)行業(yè)，“現(xiàn)在我們已經(jīng)研究了半導(dǎo)體中的換能效應(yīng)以消除它們，也許它們是有用的。”
1960年，阿特加入通用電氣，在與霍尼韋爾的一場(chǎng)關(guān)于固態(tài)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換的空軍（WADC）合同競(jìng)爭(zhēng)中獲勝。這促使托尼·庫爾茨離開霍尼韋爾，找到了庫利特。1964年，阿特加入霍尼韋爾創(chuàng)辦了固態(tài)電子中心（SSEC）。在60年代，Art領(lǐng)導(dǎo)SSEC為航空航天、工業(yè)和微動(dòng)開關(guān)部門開發(fā)壓阻式加速度計(jì)和壓力傳感器。漢斯·凱勒當(dāng)時(shí)是SSEC的物理學(xué)家。他后來在瑞士創(chuàng)立了凱勒·德魯克梅斯技術(shù)公司。1969年，阿特加入前霍尼韋爾公司的唐·林納姆，擔(dān)任飛兆半導(dǎo)體相機(jī)與儀器公司傳感器運(yùn)營(yíng)部的工程總監(jiān)。吉恩·伯克很快離開霍尼韋爾加入了Art。Art將大塊硅微加工的原始工作歸功于吉恩。在Gene的工作之前，傳感器并沒有包括三維結(jié)構(gòu)，只有平面結(jié)構(gòu)。1971年，唐、阿特和吉恩·伯克離開了飛兆兒童，在飛兆兒童的祝福下成立了IC傳感器（現(xiàn)為Foxboro ICT）。
1972年，Art和Bill Hare在沒有飛兆半導(dǎo)體的支持下成立了國家半導(dǎo)體公司的傳感器運(yùn)營(yíng)部。除信通技術(shù)外，飛兆半導(dǎo)體還繼續(xù)致力于汽車應(yīng)用。飛兆半導(dǎo)體希望開發(fā)一種歧管絕對(duì)壓力傳感器，其技術(shù)類似于點(diǎn)火模塊，基于硅壓阻技術(shù)。隨著阿特的離開，這項(xiàng)努力停止了。National和Fairchild卷入了一場(chǎng)關(guān)于藝術(shù)離開性質(zhì)的法律糾紛。飛兆半導(dǎo)體剩下的技術(shù)賣給了鮑勃·胡德，成為了認(rèn)知公司，最終賣給了艾默生電氣，從此再也聽不到了。
1973年，我在費(fèi)爾柴爾德半導(dǎo)體公司（Fairchild Semiconductor）的一位共同朋友兼工程師里克·沙夫津（Rick Schaffzin）安排的一次高爾夫郊游中遇到了阿特。里克在80年代成為IC傳感器的總裁。阿特的高爾夫揮桿很糟糕。最好是一個(gè)剛學(xué)會(huì)游戲的人在藝術(shù)搖擺時(shí)把目光移開，以避免瑪土撒拉詛咒。有傳言說，看到藝術(shù)的搖擺可能會(huì)讓人變成鹽柱。
在飛兆半導(dǎo)體，我們使用德爾科電子開發(fā)了第一個(gè)固態(tài)點(diǎn)火模塊，在生產(chǎn)高峰期每周出貨50000個(gè)模塊。我是汽車和其他混合動(dòng)力產(chǎn)品的工藝和產(chǎn)品工程師。工程經(jīng)理是現(xiàn)任Altera總裁羅德尼·史密斯。
國家半導(dǎo)體日
70年代初，硅谷唯一的商業(yè)硅傳感器作品是Art的作品（剛剛在國家半導(dǎo)體公司開始），Don Lynam在IC傳感器公司（也剛剛開始），以及Fairchild的作品（即將完成認(rèn)知）。在世界其他地方，還有其他商業(yè)活動(dòng)，霍尼韋爾微開關(guān)公司、瑞士凱勒公司的漢斯·凱勒公司、新澤西州的庫利特公司和歐洲的菲利普斯公司都在繼續(xù)開展這項(xiàng)工作。最大的研究工作是在美國的大學(xué)。凱斯韋斯特大學(xué)、When Ko博士、Kendall Wise博士領(lǐng)導(dǎo)的斯坦福大學(xué)以及卡內(nèi)基梅隆大學(xué)的約翰·格拉格都做出了重大努力。由于潛在的汽車應(yīng)用，國家半導(dǎo)體希望進(jìn)入這一行業(yè)。國家管理層要求阿特解釋“轉(zhuǎn)換”。阿特告訴他們，他將用最簡(jiǎn)單的術(shù)語來解釋，他們可以用最好的術(shù)語來描述。他將轉(zhuǎn)導(dǎo)描述為吸收硅的能力由于潛在的汽車應(yīng)用，國家半導(dǎo)體希望進(jìn)入這一行業(yè)。國家管理層要求阿特解釋“轉(zhuǎn)換”。阿特告訴他們，他將用最簡(jiǎn)單的術(shù)語來解釋，他們可以用最好的術(shù)語來描述。他將轉(zhuǎn)導(dǎo)描述為獲取硅并將其轉(zhuǎn)化為貨幣的能力。這吸引了National，Art被雇傭，National十年的傳感器工作即將開始。藝術(shù)更準(zhǔn)確地描述了當(dāng)時(shí)的情況，因?yàn)閲@這一說法發(fā)生的事件也讓我們深入了解了當(dāng)時(shí)國家半導(dǎo)體公司的特點(diǎn)。
在70年代中期，我負(fù)責(zé)所有National混合動(dòng)力產(chǎn)品的營(yíng)銷，包括傳感器。當(dāng)時(shí)，汽車公司正在大力開發(fā)汽車地圖傳感器。在National，我們與德爾科電子和福特合作，共同開發(fā)了兩種地圖傳感器。德爾科版本的傳感器芯片類似于當(dāng)時(shí)的霍尼韋爾傳感器芯片，封裝在與飛兆半導(dǎo)體點(diǎn)火模塊類似的外殼中。該產(chǎn)品及其版本仍由德爾科和其他售后供應(yīng)商生產(chǎn)。該傳感器的類似版本已為世界上所有其他主要汽車公司開發(fā)，其規(guī)格為事實(shí)上的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。福特版是一款硅可變電容壓力傳感器。今天它仍然由福特和摩托羅拉生產(chǎn)。然而，它沒有被任何其他汽車制造商使用。它比壓阻型更昂貴。還有其他厚膜混合MAP傳感器也服務(wù)于該市場(chǎng)。
1977年，我與Kulite工程副總裁喬·馬隆（Joe Mallon）一起參加了西雅圖的傳感器靶場(chǎng)指揮官會(huì)議。當(dāng)時(shí)，喬在硅壓阻式壓力傳感器處理方面擁有大量專利（1983年，喬、庫爾特·彼得森和賈努斯·布里澤克成為了Novasensors的聯(lián)合創(chuàng)始人；稍后會(huì)有更多相關(guān)內(nèi)容）。我在這次會(huì)議上認(rèn)識(shí)了喬，發(fā)現(xiàn)他是當(dāng)時(shí)最有知識(shí)的人，對(duì)硅中壓力傳感器的半導(dǎo)體工藝所產(chǎn)生的溫度效應(yīng)非常了解。即使在今天，大多數(shù)公司仍參考他的原始工作，確定硅中摻雜劑的適當(dāng)濃度水平，以設(shè)置電阻和靈敏度的溫度系數(shù)。
1978年，我參加了舊金山的Semico West，參加了Janusz Bryzek關(guān)于硅壓力傳感器離散溫度補(bǔ)償?shù)?ldquo;Herr Doktor”演講。Janusz提出了一種電路，它至少有20個(gè)放大器、幾百個(gè)電阻器和許多電位器。這是我見過的最復(fù)雜的溫度補(bǔ)償方案，真是一個(gè)技術(shù)奇跡。一位聽眾問他：“Doktor Bryzek，這么多組件的補(bǔ)償有什么錯(cuò)誤？”Janusz毫不猶豫地回答：“沒有錯(cuò)誤，它……是完美的！”當(dāng)時(shí)我覺得他很可能是對(duì)的，但不知道他會(huì)如何測(cè)試（工程師的心態(tài)，而不是營(yíng)銷心態(tài)）。從這次會(huì)議上我認(rèn)識(shí)了Janusz。
在同一時(shí)期，美國醫(yī)院用品公司向國家采購了一個(gè)5美元的一次性血壓傳感器。第一項(xiàng)工作開始于今天，很可能是世界上僅次于汽車地圖傳感器的第二大壓力傳感器應(yīng)用。
1977年的《國家半導(dǎo)體傳感器手冊(cè)》成為傳感器行業(yè)的參考書。這本書的大部分章節(jié)仍然與Sensym手冊(cè)的每一次重印一起重印。本手冊(cè)仍然是壓力傳感器的首選參考書。1977年的手冊(cè)是獨(dú)一無二的，因?yàn)槊恳还?jié)都有一個(gè)不尋常的介紹性標(biāo)題和序言，包括“尖叫的小豬”，一節(jié)關(guān)于聲學(xué)測(cè)量，一節(jié)關(guān)于信號(hào)調(diào)節(jié)。這本書是Art、Ray Pitts和我自己多年工作的成果，他是物理學(xué)博士，當(dāng)時(shí)正在查閱和改寫《圣經(jīng)》。雷是主要貢獻(xiàn)者。他在國家電視臺(tái)的故事有一個(gè)不幸的結(jié)局，此后不久他的生活也有一個(gè)悲慘的結(jié)局。
1980年，我成為了National和Art Zias的換能器產(chǎn)品運(yùn)營(yíng)總監(jiān)，Zias向我匯報(bào)。這對(duì)我們所有人來說都是一個(gè)充滿挑戰(zhàn)和歡樂的時(shí)期，因?yàn)锳rt讓每個(gè)人都保持警覺和娛樂。除了工程學(xué)，Art在國家半導(dǎo)體年度銷售會(huì)議上擔(dān)任儀式大師，并將我作為他的許多軼事的傳聲筒。他最令人難忘的故事之一是關(guān)于國家半導(dǎo)體公司創(chuàng)始人兼首席執(zhí)行官查理·斯波克的。針對(duì)當(dāng)時(shí)金融分析師對(duì)他的批評(píng)，查理發(fā)表聲明，“他會(huì)咬腹股溝，吐睪丸。”阿特在提到這一聲明時(shí)對(duì)數(shù)百名本國雇員和銷售代表的聽眾說，“這是真的。Art在提到這一聲明時(shí)對(duì)數(shù)百名國家雇員和銷售代表的聽眾說，“這只是為了向你展示憤怒的富人可以發(fā)展出奇怪的美食戀物癖。”傳感器業(yè)務(wù)的章程旨在確定在短時(shí)間內(nèi)將業(yè)務(wù)發(fā)展到1億美元所需的條件。當(dāng)時(shí)我不知道，但唯一的選擇是退出這家公司。
美國國家半導(dǎo)體公司是從事傳感器操作的知名人士。
最著名的是Mike Scott，他是1974年至1979年間混合動(dòng)力和傳感器產(chǎn)品的運(yùn)營(yíng)總監(jiān)。在此期間，我向Mike匯報(bào)了工作，他是最有知識(shí)的營(yíng)銷人員，可能是我見過的最聰明的人。邁克曾在費(fèi)爾柴爾德為邁克·馬庫拉工作，他離開國家隊(duì)成為蘋果電腦公司的第一任總裁，并于1983年離開蘋果公司，當(dāng)時(shí)他和史蒂夫·喬布斯的看法不一樣。蘋果董事會(huì)主席馬庫拉選擇了史蒂夫而不是邁克。邁克此時(shí)帶著800萬股蘋果股票離開了蘋果公司，從此過得很愉快。他確實(shí)在衛(wèi)星發(fā)射業(yè)務(wù)中有過一次嘗試，他們的第一顆衛(wèi)星和公司StarStrike發(fā)射失敗。他們的衛(wèi)星概念具有相當(dāng)大的技術(shù)吸引力。但最終，他們有了一次昂貴的乘船旅行，他們的衛(wèi)星和投資永遠(yuǎn)消失在太平洋深處。Floyd Kvamme是National的營(yíng)銷和銷售副總裁。皮埃爾·拉蒙德負(fù)責(zé)研發(fā)。弗洛伊德和皮埃爾今天在風(fēng)險(xiǎn)投資界都非常有名。在國家半導(dǎo)體公司，我們的半導(dǎo)體工廠加工是在鮑勃·斯旺森領(lǐng)導(dǎo)的線性小組中進(jìn)行的。Bob離開National時(shí)，帶著一個(gè)由National linear員工組成的團(tuán)隊(duì)，創(chuàng)辦了linear Technology，這是一家今天利潤(rùn)豐厚的半導(dǎo)體公司。他們的離開導(dǎo)致查利·斯波克對(duì)該組織提起法律訴訟，因?yàn)樵陔x開前的一段時(shí)間里，他們每天在自助餐廳交談“似乎”很不尋常。尤其是因?yàn)樗麄冊(cè)诖酥皬奈磪⒓舆^社交活動(dòng)。布蘭特·韋林（Brent Welling）是Linear的聯(lián)合創(chuàng)始人之一，我曾為他在National工作過一段時(shí)間，后來他加入了Sensym，擔(dān)任營(yíng)銷和銷售副總裁。
在國家實(shí)驗(yàn)室，我是他們電子語法委員會(huì)的成員，有機(jī)會(huì)參觀了斯坦福大學(xué)的一個(gè)傳感器小組。肯德爾·懷斯是這項(xiàng)工作的負(fù)責(zé)人，即將離開密歇根大學(xué)，組建一個(gè)傳感器研究項(xiàng)目。我遇到了吉姆·克努蒂，他參與了由國家衛(wèi)生研究所資助的用于監(jiān)測(cè)綿羊身體功能的植入集成注射邏輯、組合壓力和溫度傳感器。吉姆后來（1984年？）與亨利·艾倫博士和他們兩人一起工作創(chuàng)立了一家使用硅制造力傳感器的公司，Art早些時(shí)候出版了《機(jī)器人的指尖》。這家公司Transsensory Devices Inc被IC sensors收購，Jim和Henry留在了IC sensors。Jim在收購后不久離開，并與Ascom在瑞士開始了傳感器操作。Ascom最終被出售，他們的工廠發(fā)生火災(zāi)，最終他們退出了這項(xiàng)業(yè)務(wù)。Henry加入了Jim，與Ascom的合作使他們兩人于1992年開始制作硅微結(jié)構(gòu)。1995年，Exar收購了SMI，Jim和Henry繼續(xù)活躍于SMI/Exar。他們?cè)诠钁?yīng)力集中、建模以及低壓裝置和加速度計(jì)的硅結(jié)構(gòu)方面做了一些非常好的工作。
感官的日子
1982年，我向國家管理層做了一次陳述，指出在可預(yù)見的未來，預(yù)計(jì)傳感器業(yè)務(wù)將變成1億美元的業(yè)務(wù)是不現(xiàn)實(shí)的，之后我被指示出售該業(yè)務(wù)。當(dāng)時(shí)約翰·奈斯海姆是國家銀行的財(cái)務(wù)主管，在這一過程中為我提供指導(dǎo)。約翰后來與電視名人Art Linkletter一起成立了管理部，并寫了幾本關(guān)于風(fēng)險(xiǎn)投資融資的書。當(dāng)時(shí)我的營(yíng)銷經(jīng)理是曼尼·奈克，現(xiàn)在是集成傳感器解決方案的總裁。曼尼和我與喬·馬隆談過，我們?nèi)丝紤]了如何自己進(jìn)入這一行業(yè)。我們決定邀請(qǐng)賈努斯·布里澤克也參加討論。在多次會(huì)議之后，我們可以說，我們無法就公司的結(jié)構(gòu)達(dá)成一致（“總裁辦公室”后來在Novasensors采用，我對(duì)此不感興趣），我決定提議對(duì)National的運(yùn)營(yíng)進(jìn)行杠桿收購，Janusz將加入我們，擔(dān)任工程副總裁。
Manny留在了National，后來離開并找到了集成傳感器解決方案。ISS目前活躍于汽車應(yīng)用的壓力傳感器領(lǐng)域，并與日本、德國和美國的公司建立了戰(zhàn)略合作關(guān)系。毫無疑問，曼尼是最好的媽媽” |
