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薄膜磁傳感器
來源:薄膜壓力傳感器壓力分布 | 發(fā)布時間:2017/6/2 20:20:17 | 瀏覽次數(shù):

薄膜磁傳感器 編輯
薄膜磁傳感器廣泛用于現(xiàn)代工業(yè)和電子產(chǎn)品中以感應(yīng)磁場強(qiáng)度來測量電流、位置、方向等物理參數(shù)。在現(xiàn)有技術(shù)中,有許多不同類型的傳感器用于測量磁場和其他參數(shù),例如采用霍爾(Hall)元件,各向異性磁電阻(Anisotropic Magnetoresistance, AMR)元件或巨磁電阻(Giant Magnetoresistance, GMR)元件為敏感元件的薄膜磁傳感器。TMR(Tunnel MagnetoResistance)元件是近年來開始工業(yè)應(yīng)用的新型磁電阻效應(yīng)傳感器,其利用的是磁性多層膜材料的隧道磁電阻效應(yīng)對磁場進(jìn)行感應(yīng),比之前所發(fā)現(xiàn)并實際應(yīng)用的AMR元件和GMR元件具有更大的電阻變化率。我們通常也用磁隧道結(jié)(Magnetic Tunnel Junction, MTJ)來代指TMR元件,MTJ元件相對于霍爾元件具有更好的溫度穩(wěn)定性,更高的靈敏度,更低的功耗,更好的線性度,不需要額外的聚磁環(huán)結(jié)構(gòu);相對于AMR元件具有更好的溫度穩(wěn)定性,更高的靈敏度,更寬的線性范圍,不需要額外的set/reset線圈結(jié)構(gòu);相對于GMR元件具有更好的溫度穩(wěn)定性,更高的靈敏度,更低的功耗,更寬的線性范圍。
中文名 薄膜磁傳感器 什    么 變化轉(zhuǎn)換成電信號 三    類指南針、磁場感應(yīng)器、位置傳感器 特    點 高靈敏度
目錄
1 定義
2 發(fā)展趨勢
3 發(fā)展歷程
4 應(yīng)用
5 薄膜磁傳感器的應(yīng)用與市場
▪ 薄膜磁傳感器的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用
▪ 在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造中的應(yīng)用及市場
▪ 在環(huán)境監(jiān)測中的應(yīng)用
▪ 在交通管制中的應(yīng)用
▪ 薄膜磁傳感器在電子羅盤中的應(yīng)用
▪ 門薄膜磁傳感器在智能家居中的應(yīng)用
定義編輯
什么是薄膜磁傳感器?就是把磁場、電流、應(yīng)力應(yīng)變、溫度、光等外界因素引起敏感元件磁性能變化轉(zhuǎn)換成電信號,以這種方式來檢測相應(yīng)物理量的器件。薄膜磁傳感器分為三類:指南針、磁場感應(yīng)器、位置傳感器。指南針:地球會產(chǎn)生磁場,如果你能測地球表面磁場就可以做指南針。電流傳感器:電流傳感器也是磁場傳感器。電流傳感器可以用在家用電器、智能電網(wǎng)、電動車、風(fēng)力發(fā)電等等。位置傳感器: 如果一個磁體和薄膜磁傳感器相互之間有位置變化,這個位置變化是線性的就是線性傳感器,如果轉(zhuǎn)動的就是轉(zhuǎn)動傳感器。

大家在生活中都用到很多薄膜磁傳感器,比如說指南針,電腦硬盤、家用電器等等。
發(fā)展趨勢編輯
薄膜磁傳感器未來的發(fā)展趨勢有以下幾種特點:
1、高靈敏度。被檢測信號的強(qiáng)度越來越弱,這就需要磁性傳感器靈敏度得到極大提高。應(yīng)用方面包括電流傳感器、角度傳感器、齒輪傳感器、太空環(huán)境測量。
  2、溫度穩(wěn)定性。更多的應(yīng)用領(lǐng)域要求傳感器的工作環(huán)境越來越嚴(yán)酷,這就要求薄膜磁傳感器必須具有很好的溫度穩(wěn)定性,行業(yè)應(yīng)用包括汽車電子行業(yè)。
  3、抗干擾性。很多領(lǐng)域里傳感器的使用環(huán)境沒有任何評比,就要求傳感器本身具有很好的抗干擾性。包括汽車電子、水表等等。
  4、小型化、集成化、智能。要想做到以上需求,這就需要芯片級的集成,模塊級集成,產(chǎn)品級集成。
  5、高頻特性。隨著應(yīng)用領(lǐng)域的推廣,要求傳感器的工作頻率越來越高,應(yīng)用領(lǐng)域包括水表、汽車電子行業(yè)、信息記錄行業(yè)。
  6、低功耗。很多領(lǐng)域要求傳感器本身的功耗極低,得以延長傳感器的使用壽命。應(yīng)用在植入身體內(nèi)磁性生物芯片,指南針等等。
發(fā)展歷程編輯
薄膜磁傳感器的發(fā)展,在本世紀(jì)70~80 年代形成高潮。90 年代是已發(fā)展起來的這些薄膜磁傳感器的成熟和完善的時期。
(1) 集成電路技術(shù)的應(yīng)用。將硅集成電路技術(shù)用于薄膜磁傳感器,開始于1967 年。Honeywell 公司Mi2croswitch 分部的科技人員將Si 霍爾片和它的訊號處理電路集成到一個單芯片上,制成了開關(guān)電路,首開了單片集成薄膜磁傳感器之先河。已經(jīng)出現(xiàn)了磁敏電阻電路、巨磁阻電路等許多種功能性的集成薄膜磁傳感器。
(2) InSb 薄膜技術(shù)的開發(fā)成功,使InSb 霍爾元件產(chǎn)量大增,成本大幅度下降。最先運(yùn)用這種技術(shù)獲得成功的日本旭化成電子公司,如今可年產(chǎn)5 億只以上。
(3) 強(qiáng)磁性合金薄膜。1975 年面市的強(qiáng)磁合金薄膜磁敏電阻器利用的是強(qiáng)磁合金薄膜中的磁敏電阻各向異性效應(yīng)。在與薄膜表面平行的磁場作用下,以坡莫合金為代表的強(qiáng)磁性合金薄膜的電阻率呈現(xiàn)出2 [%]~5 [%]的變化。利用這種效應(yīng)已制成三端、四端磁阻器件。四端磁阻橋已大量用于磁編碼器中,用來檢測和控制電機(jī)的轉(zhuǎn)速。此外,還作成了磁阻磁強(qiáng)計、磁阻讀頭以及二維、三維磁阻器件等。它們可檢測10 - 10~10 - 2 T 的弱磁場,靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好, 將成為弱磁場傳感和檢測的重要器件。
(4) 巨磁電阻多層膜。由不同金屬、不同層數(shù)和層間材料的不同組合,可以制成不同的機(jī)制的巨磁電阻(giant magneto - resistance) 薄膜磁傳感器。它們呈現(xiàn)出的隨磁場而變化的電阻率,比單層的各向異性磁敏電阻器的要高出幾倍,正受到研制高密度記錄磁盤讀出頭的科技人員的極大關(guān)注,已見有5 G字節(jié)的自旋閥頭的設(shè)計分析的報導(dǎo)。
(5) 各種不同成分和比例的非晶合金材料的采用,及其各種處理工藝的引入,給薄膜磁傳感器的研制注入了新的活力,已研制和生產(chǎn)出了雙芯多諧振蕩橋薄膜磁傳感器、非晶力矩傳感器、壓力傳感器、熱薄膜磁傳感器、非晶大巴克豪森效應(yīng)薄膜磁傳感器等[4 ] 。發(fā)現(xiàn)的巨磁感應(yīng)效應(yīng)(giant magneto inductive effect) 和巨磁阻抗效應(yīng)(giant magneto - impedance effect) ,比巨磁電阻的響應(yīng)靈敏度高一個量級,可能做成磁頭,成為高密度磁盤讀頭的有力競爭者。利用非晶合金的高導(dǎo)磁率特性和可做成細(xì)絲的機(jī)械特性,將它們用于磁通門和威根德等器件中,取代坡莫合金芯,使器件性能得到大大的改善。(6) Ⅲ- Ⅴ族半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料。例如,在InP 襯底上用分子束外延技術(shù)生長In0. 52Al0. 48As/In0. 8Ga0. 2As ,形成假晶結(jié)構(gòu),產(chǎn)生二維電子氣層,其層厚是分子級的,這種材料的能帶結(jié)構(gòu)發(fā)生改變。用這種材料來制作霍爾元件,其靈敏度高于市售的
InSb 和GaAs 元件,在296 K時為22. 5 V/ T ,靈敏度的溫度系數(shù)也有大的改善,用恒定電流驅(qū)動時,為-0. 0084 [%]/ K。用這種材料,除可制造霍爾器件外,還可用以制造磁敏場效應(yīng)管、磁敏電阻器等。在國外,由于薄膜磁傳感器已逐漸被廣泛而大量地使用 。[1]
(6)磁隧道結(jié)。早在1975年,Julliere就在Co/Ge/Fe磁性隧道結(jié)(MagneticTunnelJunctions,MTJs)(注:MTJs的一般結(jié)構(gòu)為鐵磁層/非磁絕緣層/鐵磁層(FM/I/FM)的三明治結(jié)構(gòu))中觀察到了TMR效應(yīng)[2]  。MTJs中兩鐵磁層間不存在或基本不存在層間耦合,只需要一個很小的外磁場即可將其中一個鐵磁層的磁化方向反向,從而實現(xiàn)隧穿電阻的巨大變化,故MTJs較金屬多層膜具有高得多的磁場靈敏度。同時,MTJs這種結(jié)構(gòu)本身電阻率很高、能耗小、性能穩(wěn)定。因此,MTJs無論是作為讀出磁頭、各類傳感器,還是作為磁隨機(jī)存儲器(MRAM),都具有無與倫比的優(yōu)點,其應(yīng)用前景十分看好,引起世界各研究小組的高度重視[3]  。
應(yīng)用編輯
薄膜磁傳感器全球每年產(chǎn)值大概在10億美元,加上后端系統(tǒng)就更大了。這里所講的是感應(yīng)層面的薄膜磁傳感器。
在智能交通里,比如說任何一個車在公路上開的時候,如果你公路上放一個薄膜磁傳感器,車走過的軌跡你把它記錄下來,就可以建設(shè)高速公路的車流。
前一段動車出事以后,國家交通部要求有沒有單獨(dú)的方案,建設(shè)動車是停在某一個軌道上,還是不在某一個軌道上,后來又一個方案很簡單,在動車沿線每隔兩公里鋪一個薄膜磁傳感器,這是一個單獨(dú)系統(tǒng),所以當(dāng)你沒電的時候也可以告訴調(diào)度中心。
薄膜磁傳感器應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域
薄膜磁傳感器就是把磁場、電流、應(yīng)力應(yīng)變、溫度、光等引起敏感元件磁性能的變化轉(zhuǎn)換成電信號,以這種方式來檢測相應(yīng)物理量的傳感器。薄膜磁傳感器在工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用很多,還呈快速增長的趨勢。
在工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域,最流行的薄膜磁傳感器類型是電流傳感器,包括分流電阻器、霍爾效應(yīng)集成電路、電流感應(yīng)變壓器、開環(huán)與閉環(huán)霍爾器件以及磁通門傳感器。在許多測量50安培以下電流的應(yīng)用中,比如住宅太陽能逆變器應(yīng)用或小型UPS系統(tǒng),使用簡單的resistive bar或分路(shunt)[4]  。
但隨著所測電流強(qiáng)度的上升,shunt變得笨重和昂貴。在大型變頻電機(jī)等電流較高的應(yīng)用中,開環(huán)與閉環(huán)霍爾傳感器在一個小型封裝中使用霍爾效應(yīng)IC;也可以提高集成度,在封裝中包含一個專用集成電路。霍爾IC同樣用于工業(yè)洗衣機(jī)變頻器控制應(yīng)用之中。
除了電流傳感器,獨(dú)立霍爾效應(yīng)IC或磁阻傳感器開關(guān)也存在規(guī)模較小的薄膜磁傳感器市場,這些器件用于電機(jī)整流,以降低紋波和改善性能,或者用于位置測量。
薄膜磁傳感器的應(yīng)用與市場編輯
薄膜磁傳感器的應(yīng)用十分廣泛,已在國民經(jīng)濟(jì)、國防建設(shè)、科學(xué)技術(shù)、醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域都發(fā)揮著重要作用,成為現(xiàn)代傳感器產(chǎn)業(yè)的一個主要分支。在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)應(yīng)用和改造、資源探查及綜合利用、環(huán)境保護(hù)、生物工程、交通智能化管制等各個方面,它們發(fā)揮著愈來愈重要的作用。下面就一些重要方面的應(yīng)用作一論述。
薄膜磁傳感器的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用
薄膜磁傳感器已經(jīng)在許多領(lǐng)域獲得了產(chǎn)業(yè)性的應(yīng)用,每年所需用的薄膜磁傳感器的總數(shù)量以數(shù)十億計。
1.1 電機(jī)工業(yè)
無刷電動機(jī)具有體積小、重量輕、效率高、調(diào)速方便、維護(hù)少、壽命長、不產(chǎn)生電磁干擾等一系列優(yōu)點,年需求量數(shù)以億計。
在無刷電動機(jī)中,用薄膜磁傳感器來作轉(zhuǎn)子磁極位置傳感和定子電樞電流換向器。許多薄膜磁傳感器,霍爾器件、威根德器件、磁阻器件等都可以使用,但大量使用的,主要是霍爾器件。
電機(jī)的轉(zhuǎn)速檢測和控制使用了的旋轉(zhuǎn)編碼器,過去多用光編碼器。磁編碼器的使用顯示出越來越多的優(yōu)點,正在逐漸取代光學(xué)器件。使用薄膜磁傳感器還可以對電機(jī)進(jìn)行過載保護(hù)(主要用霍爾電流傳感器)及轉(zhuǎn)矩檢測。
1.2 電力電子技術(shù)
電力電子表技術(shù)是電力技術(shù)和電子技術(shù)的結(jié)合,可實現(xiàn)交直流電流的相互變換,并可在所需的范圍內(nèi)實現(xiàn)電流、電壓和頻率的自由調(diào)節(jié)。采用這些技術(shù)和產(chǎn)品,可做成各種特殊電源(如UPS、高頻電源、開關(guān)電源、弧焊機(jī)逆變電源等)和交流變頻器等產(chǎn)品(交流變頻器用于電機(jī)調(diào)速,節(jié)能效果極好)。這些變流裝置的核心,是大功率半導(dǎo)體器件。以薄膜磁傳感器為基礎(chǔ)的各種電流傳感器被用來監(jiān)測、控制和保護(hù)這些大功率器件。霍爾電流傳感器響應(yīng)速度快,且依靠磁場和被控電路耦合,不接入主電路,因而功耗低,抗過載能力強(qiáng),線性好,可靠性高,既可作為大功率器件的過流保護(hù)驅(qū)動器,又可作為反饋器件,成為自控環(huán)路的一個控制環(huán)節(jié)。使用變流技術(shù)可以大量節(jié)能,國外使用的電能95%是經(jīng)過變換來的,國內(nèi)變流技術(shù)雖已受到高度重視,但僅有5%的電能經(jīng)過這種變換,可見具有巨大的應(yīng)用前景。其中,可能吸納大量的電流傳感器,是薄膜磁傳感器的又一巨大的產(chǎn)業(yè)性應(yīng)用領(lǐng)域。
1.3 能源管理
電網(wǎng)的自動檢測系統(tǒng)需采集大量的數(shù)據(jù),經(jīng)計算機(jī)處理之后,對電網(wǎng)的運(yùn)行狀況實施監(jiān)控,并進(jìn)行負(fù)載的分配調(diào)節(jié)和安全保護(hù)。自動監(jiān)控系統(tǒng)的各個控制環(huán)節(jié),都可用以薄膜磁傳感器為基礎(chǔ)的電流傳感器、互感器等來實現(xiàn)。霍爾電流傳感器已逐步在電網(wǎng)系統(tǒng)中得到應(yīng)用。用霍爾器件作成的電度表已從研制逐步轉(zhuǎn)向?qū)嵱没鼈兛勺詣佑嬞M(fèi)并可顯示功率因數(shù),以便隨時進(jìn)行調(diào)整,保證高效用電。
1.4 計算機(jī)技術(shù)與信息讀寫磁頭
磁信息記錄裝置除磁帶、磁盤等之外,還有磁卡、磁墨水記錄帳冊、鈔票的磁記錄等,對磁信息存儲和讀出傳感器有巨大需求。感應(yīng)磁頭,薄膜磁阻磁頭,非晶磁頭等都獲得了大量的使用。隨著記錄密度的提高,例如高到100G字節(jié),需要更高靈敏度和空間分辨力的磁頭。以多層金屬薄膜為基礎(chǔ)的巨磁阻磁頭、用非晶合金絲制作的非晶合金磁頭、巨磁阻抗磁頭等正展開激烈的競爭。
1.5 汽車工業(yè)
在汽車中,使用大量的電機(jī)(高級汽車每輛約需40~60臺電機(jī),一般汽車中也有15臺,這些電機(jī)呈現(xiàn)出無刷化趨勢),其中使用薄膜磁傳感器的數(shù)量之大,不言而喻;另一個大量使用薄膜磁傳感器的是汽車的ABS系統(tǒng)(防抱制動系統(tǒng)),平均每臺汽車要使用4~6只速度傳感器,使用的主要是感應(yīng)式速度傳感器。正在逐步推廣的新型的霍爾齒輪傳感器,以及威氏器件、非晶器件、磁阻器件等即將進(jìn)入這一領(lǐng)域。
另外是汽車發(fā)動機(jī)系統(tǒng)點火定時用的速度傳感器及點火器。這些方面也主要使用感應(yīng)傳感器。霍爾齒輪傳感器和霍爾片開關(guān)已經(jīng)在一些車型中使用。據(jù)霍尼威爾公司報導(dǎo),截止1996年6月,他們已向汽車工業(yè)供應(yīng)了8000萬只霍爾翼片開關(guān)和300萬只霍爾齒輪速度傳感器。據(jù)預(yù)測,未來在一輛汽車中,將采用30多只象霍爾傳感器那樣的薄膜磁傳感器。
還有在工業(yè)自動控制、機(jī)器人、辦公自動化、家用電器及各種安全系統(tǒng)等領(lǐng)域,除大量使用無刷直流電機(jī),交流變頻器等之外,在電冰箱、空調(diào)器、電飯煲等裝置中,使用了大量的磁性溫度控制器,上世紀(jì)80年代中期已經(jīng)超過數(shù)億只。
在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造中的應(yīng)用及市場
據(jù)報道,1995年僅工業(yè)過程控制傳感器的全球市場已達(dá)到260億美元;2001年計算機(jī)HDD用SV-GMR磁頭的市場超過了4000億日元(約合34億美元)。若采用新型微型薄膜磁傳感器,既使操作更簡便,又提高了可靠性,增長了器件壽命,降低了成本。
使用新型薄膜磁傳感器可以顯著提高測量和控制精度,如使用GMI(巨磁阻抗)磁場傳感器,檢測分辨率和常用磁通門磁強(qiáng)計一樣,而響應(yīng)速度卻快了一倍,消耗功率僅為后者的1%;若用霍爾器件,其分辨率僅4A/m,而所需外場比前者高300余倍;在應(yīng)力檢測中,SI 傳感器的靈敏度是常用電阻絲的2000倍高,是半導(dǎo)體應(yīng)變規(guī)的20~40倍。工業(yè)機(jī)床的油壓或氣壓汽缸活塞位置檢測,廣泛采用套在活塞桿上的永磁環(huán)和AMR元件組成的薄膜磁傳感器,檢測精度達(dá)0.1mm,檢測速度可在0~500mm/s內(nèi)以高低速度變換;改用GMI或SV-GMR傳感器后,測量精度至少可以提高1個數(shù)量級。在機(jī)床數(shù)控化時代,數(shù)字磁尺幫助設(shè)計師們實現(xiàn)了閉環(huán)控制。使用絕對信號輸出的磁尺,則不受噪聲、電源電壓波動等干擾,也不必原點復(fù)位。使用工作狀態(tài)磁敏開關(guān),還可以完成手動與數(shù)控之間的轉(zhuǎn)換。
旋轉(zhuǎn)磁編碼器在旋轉(zhuǎn)量的檢測控制中起關(guān)鍵作用,它在數(shù)控機(jī)床、機(jī)器人、工廠自動化設(shè)備的位置檢測、傳輸速度控制,磁盤、打印機(jī)之類的自動化設(shè)備通訊設(shè)備的旋轉(zhuǎn)量檢測中都是不可缺少的重要部件。其檢測對象是光磁圖形,不受油霧粉塵的影響,因此比目前最先進(jìn)的光編碼器的可靠性高壽命長,尤其適合于自動焊接、油漆機(jī)器人和與鋼鐵有關(guān)的位置檢測以及各種金屬、木材、塑料等加工行業(yè)的應(yīng)用。而仍大量使用光編碼器,由于這種器件易受粉塵、油污和煙霧的影響,用在自動焊接、油漆機(jī)器人、紡織和鋼鐵、木料、塑料等的加工中,可靠性極差。應(yīng)用AMR、GMR 、GMI敏感元件構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)磁編碼器,就不存在上述缺點,因此,它們的市場需求年增長率在30%以上。在家用電器和節(jié)能產(chǎn)品中也也有其廣泛的應(yīng)用潛力,在節(jié)能環(huán)保產(chǎn)品中也大有用武之地。若使用微型磁編碼器和控制微機(jī)一體化,更有利于簡化控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu),減少元件數(shù)和占空體積,這在精密制造和加工業(yè)中意義十分重大。
在環(huán)境監(jiān)測中的應(yīng)用
環(huán)境保護(hù)的前提是對各個環(huán)境參數(shù)(溫度、氣壓、大氣成份、噪聲.......)的監(jiān)測,這里需要使用多種大量的傳感器。采用強(qiáng)磁致伸縮非晶磁彈微型薄膜磁傳感器,可以同時測量真空或密閉空間的溫度和氣壓,而且不用接插件,可以遙測和遠(yuǎn)距離訪問。在食品包裝、環(huán)境科學(xué)實驗等方面,應(yīng)用前景廣闊。
在交通管制中的應(yīng)用
交通事故和交通阻塞是城市中和城市間交通存在的一個大問題。國內(nèi)外都在加強(qiáng)高速公路行車支持道路系統(tǒng)(AHS)、智能運(yùn)輸系統(tǒng)(ITS)和道路交通信息系統(tǒng)(VICS)等的開發(fā)與建設(shè)。在這些新系統(tǒng)中,高靈敏度、高速響應(yīng)微型薄膜磁傳感器大有用武之地。例如,用分辨率可達(dá)1nT的GMI和SI傳感器,可構(gòu)成ITS傳感器(作高速路上的道路標(biāo)志,測車輪角度,貨車近接距離),汽車通過記錄儀(測通行方向、速度、車身長度、車種識別),停車場成批車輛傳感器,加速度傳感器(測車輛通過時路橋的振動等)
薄膜磁傳感器在電子羅盤中的應(yīng)用
幾個世紀(jì)以來,人們在導(dǎo)航中一直使用磁羅盤。有資料顯示早在二千多年前中國人就開始使用天然磁石-一種磁鐵礦來指示水平方向。電子羅盤(數(shù)字羅盤,電子指南針,數(shù)字指南針)是測量方位角(航向角)比較經(jīng)濟(jì)的一種電子儀器。如今電子指南針廣泛應(yīng)用于汽車和手持電子羅盤,手表,手機(jī),對講機(jī),雷達(dá)探測器,望遠(yuǎn)鏡,探星儀,穆斯林麥加探測器(穆斯林鐘),手持 GPS 系統(tǒng),尋路器,武器/導(dǎo)彈導(dǎo)航( 航位推測 ),位置/方位系統(tǒng),安全/定位設(shè)備,汽車、航海和航空的高性能導(dǎo)航設(shè)備,電子游戲機(jī)設(shè)備等需要方向或姿態(tài)顯示的設(shè)備。
地球本身是一個大磁鐵,地球表面的磁場大約為0.5Oe,地磁場平行地球表面并始終指向北方。利用GMR薄膜可做成用來探測地磁場的傳感器。圖5顯示這種傳感器的具體工作原理。我們可以制出能夠探測磁場X和Y方向分量的集成GMR傳感器。此傳感器可作為羅盤并應(yīng)用在各種交通工具上作為導(dǎo)航裝置。美國的NVE公司已經(jīng)把GMR傳感器用在車輛的交通控制系統(tǒng)上。例如,放置在高速公路邊的GMR傳感器可以計算和區(qū)別通過傳感器的車輛。如果同時分開放置兩個GMR傳感器,還可以探測出通過車輛的速度和車輛的長度,當(dāng)然GMR也可用在公路的收費(fèi)亭,從而實現(xiàn)收費(fèi)的自動控制。另外高靈敏度和低磁場的傳感器可以用在航空、航天及衛(wèi)星通信技術(shù)上。大家知道,在軍事工業(yè)中隨著吸波技術(shù)的發(fā)展,軍事物件可以通過覆蓋一層吸波材料而隱蔽,但是它們無論如何都會產(chǎn)生磁場,因此通過GMR磁場傳感器可以把隱蔽的物體找出來。當(dāng)然,GMR磁場傳感器可以應(yīng)用在衛(wèi)星上,用來探測地球表面上的物體和底下的礦藏分布。
以上只述及了部分應(yīng)用的方面,限于篇幅不再詳述了。[5]
門薄膜磁傳感器在智能家居中的應(yīng)用
在智能家居門禁系統(tǒng)中門磁開關(guān)的作用是負(fù)責(zé)門磁通電否,通電帶磁(閉門),斷電消磁(開門),門磁安裝于門與門套上,開關(guān)安裝于屋內(nèi),配合自動閉門器使用,一般可承受150公斤的拉力。[6]
有線門磁為嵌入式安裝更加隱蔽,感應(yīng)門窗的開合,適用于木質(zhì)或鋁合金門窗發(fā)出有線常閉/常開開關(guān)信號。門磁是用來探測門、窗、抽屜等是否被非法打開或移動。它由無線發(fā)射器和磁塊兩部分組成。門磁系統(tǒng)其實和床磁等原理相同。這里主要以門磁為例

 
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