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壓電膜傳感器
來源:薄膜壓力傳感器壓力分布 | 發(fā)布時間:2016/4/29 14:29:28 | 瀏覽次數(shù):

壓電基礎(chǔ)

機電變換

像海綿可以擠出水一樣,當壓電材料受壓時產(chǎn)生電荷,其信號幅度和頻率直接與壓電材料的機械變形成正比。變形使材料表面電荷密度發(fā)生變化,于是就在加了電極的表面之間產(chǎn)生出電壓。當所加的力反向時,輸出電壓的極性也同時反相。一個往復(fù)力會得到交變的輸出電壓。

壓電薄膜,也像所有的壓電材料一樣,是一種動態(tài)材料,所產(chǎn)生的電荷與所加機械應(yīng)力的變化成正比。由于材料的內(nèi)部阻抗,不適用于靜態(tài)測量(純直流)。壓電膜所產(chǎn)生的電荷的衰減時間常數(shù),取決于膜本身的介電常數(shù)、內(nèi)阻,以及壓電膜所接接口電路的輸入內(nèi)阻。實際上,壓電膜最低可測頻率可達到0.001Hz。有許多方法可實現(xiàn)純直流響應(yīng),但要求壓電膜既用作執(zhí)行器,又作為傳感器,監(jiān)控著直流過程所產(chǎn)生的執(zhí)行結(jié)果的變化。

對電荷或電壓,固有的壓電常數(shù)預(yù)告了對小應(yīng)力(或應(yīng)變),壓電共聚物所能產(chǎn)生的電荷密度(單位面積的電荷)或電壓場(單位厚度的電壓)。

電荷模式:

在近于短路的情況下,所產(chǎn)生的電荷密度可用下式表示:

            D = Q/A = d3nXn (n = 1, 2或3)

所加應(yīng)力(或應(yīng)變)的機械軸(n),通常為:

            1 = 長度(或拉伸)方向
            2 = 寬度(或橫向)方向
            3 = 厚度方向
式中:
            D = 所產(chǎn)生的電荷密度
            Q = 所產(chǎn)生的電荷
            A = 導電極面積
            D3n = 與所加應(yīng)力或應(yīng)變軸所對應(yīng)的壓電系數(shù)
            n = 所加應(yīng)力或應(yīng)變軸
            Xn = 相關(guān)方向上所加的應(yīng)力

必須指出,d3n系數(shù)一般表示為每牛頓皮庫侖(pC/N),但由于受力面積(m²)往往并不相同,而又不能“相消”,所以較確切的表達式應(yīng)該是 (pC/m²)/(N/m²)。
電壓模式:

開路輸出電壓,可用下式表示:

            Vo = g3nXnt (n = 1, 2或3,與上述相同)

式中:   
            g = 與所加應(yīng)力或應(yīng)變軸相應(yīng)的壓電系數(shù)
            Xn= 相關(guān)方向上所加應(yīng)力
            t = 壓電膜厚度

壓電常數(shù):
          
應(yīng)用最廣泛的壓電常數(shù)d3n 和g3n ,即電荷
和電壓,分別具有二個下角標。前者指電軸,
后者指機械軸。由于壓電膜很薄,所以電極只
能在上、下表面。由于電荷或者電壓總是通過
膜的厚度(n=3)來傳輸,因此,電軸便總是“3” 。
如圖28所示,機械應(yīng)力可以加在任何軸向,
所以,機械軸可以是1、2,或3。

通常,將壓電膜的機械軸向1用于低頻傳感和驅(qū)動(<100kHz),而機械軸向3則用于高頻超聲傳感和驅(qū)動(>100KHz)。

方向特性:

壓電材料是各向異性的,也就是電和機械響應(yīng)不同并取決于所加電場軸向或所加應(yīng)力或應(yīng)變軸向。在有關(guān)壓電效應(yīng)的計算中,必須要考慮到這種方向特性。

例一:

在一長2.54cm,寬2.54cm和厚度為110µm的壓電薄膜開關(guān)上,施加一個1.45磅/平方英寸(10,000N/m²)的負荷。該開關(guān)元件背后有剛性支撐。故力是作用在厚度方向上(即:g33模式)。本例中,負荷是作用在壓電薄膜的長成寬的面積上。厚度方向所產(chǎn)生的開路電壓為:

式中:
    V/m = 壓電膜厚度每米的電壓輸出
    N/m²= 膜相關(guān)面積上施加的應(yīng)力,由磅/英寸²變換為N/m²約為7,000。

 

 
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