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電容式傳感器的納米-納米定位

電容式傳感器可實(shí)現(xiàn)短距離納米級(jí)分辨率。該傳感器以舞臺(tái)結(jié)構(gòu)為目標(biāo)，比線性編碼器緊湊得多。電容式傳感器以激光測(cè)距干涉儀成本的一小部分提供亞納米級(jí)分辨率。



電容式傳感器從微觀意義上的理想提供位置反饋的壓電馬達(dá)或音圈驅(qū)動(dòng)的納米應(yīng)用，以及傾斜機(jī)構(gòu)位置傳感器。它們可以用作伺服回路中的反饋傳感器，也可以用作獨(dú)立位置傳感器。納米定位通常是一個(gè)、兩個(gè)或三個(gè)軸定位器在幾百微米的順序每軸提供旅行。納米定位一般彎曲的方式從金屬固體塊加工建造，以提供最小的離軸運(yùn)動(dòng)很純粹的運(yùn)動(dòng)。執(zhí)行器要么是壓電馬達(dá)，要么是音圈。電容傳感器提供以下優(yōu)點(diǎn)作為納米定位反饋裝置：



效益

電容傳感器的分辨率在納米級(jí)。

對(duì)于掃描應(yīng)用，電容傳感器提供了非常線性，并消除與光學(xué)編碼器相關(guān)的周期性誤差。

對(duì)于要求位置穩(wěn)定的應(yīng)用，電容傳感器非常穩(wěn)定，可以用基本上零散熱的材料制造。

用于快速工具伺服的高帶寬電容傳感器

快速刀具伺服反饋sensorfast機(jī)床伺服系統(tǒng)中使用的各種加工應(yīng)用到機(jī)器的非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱面和創(chuàng)造各種表面結(jié)構(gòu)。快速刀具伺服是一種高性能的線性致動(dòng)器，使工具在特定帶寬刀架模塊。



從微觀意義上的電容傳感器，用于提供伺服系統(tǒng)的反饋，提供高帶寬和快速刀具伺服應(yīng)用程序所必需的高分辨率。我們的模型8810可用帶寬高達(dá)20千赫。