真空環(huán)境下精密位置傳感器的研制 精密位置傳感器，將在高真空或超高壓操作（超高真空）環(huán)境必須精心構(gòu)建以低蒸汽壓材料以避免出氣。微觀意義上已經(jīng)準備在真空環(huán)境操作的傳感器相當?shù)慕?jīng)驗，請與您的具體要求與我們聯(lián)系。我們的探針已成功地應(yīng)用于FIB（聚焦離子束）系統(tǒng)、掃描電子顯微鏡系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)和各種大型實驗物理項目中。 線性位置測量范圍從10微米到4毫米。 玻璃金屬探針提供低釋氣和高穩(wěn)定性。探頭體積小，以減少真空室的表面積。 真空制備的圓柱形探頭使用真空兼容的材料和粘合劑，并提供幾乎零的散熱探頭。 探頭有非磁性結(jié)構(gòu)。 提供幾種風格的室壁的引線 真空制備的探頭可用于4800系列和8800系列精密位置傳感器。
