微觀意義ultramap c200a是一個(gè)自動(dòng)化的LED藍(lán)寶石晶片測量系統(tǒng)基于微觀意義上的專有雙面電容傳感技術(shù)。系統(tǒng)測量臨界基板參數(shù)包括厚度、TTV，弓，經(jīng)厚度變化和局部（LTV）的高吞吐量。的ultramap C200是專為藍(lán)寶石晶片制造商和LED芯片制造商需要更好的晶片幾何檢測具有更高的測量重復(fù)性，相比傳統(tǒng)的光學(xué)測量系統(tǒng)。
